业界动态bookmark0 Swagelok：为半导体制造业提供优质、高性能阀门以JIT4.ti）罕b月前问汇-乱到我化I阅全年杂=丨利如，取年5月至JiXl年：fci期；7ff5C；rt ft均可获角张价直：。「元的丨口电古边上阵十，话茌汇软时土明：收全|您约汇|1云4睹兵5荀d！

　　：|民。与诏QilflRH抟fi 3空。n北荦n公主垃支巧今3丐子杂志t Sv*gelok1947年创建于美国，从生产管件接头起家，成长为一个性的制造公司。产品包括各种阀门、阀组、接头、过滤器、软管等数以干计的流体系统组件。Swagelok的产品广泛应用于科学研究、仪表、制药、原油和天然气、电力、石化以及半导体工业。

　　Swagelok的总部位于美国俄亥俄州，目前在美国设有生产工厂在日本设有装配工厂，在欧洲设有技术服务部门。Swagelok进入中国市场已有20年的历史，目前在中国设有8家分支机构，上海伟富阀门是其子公司，负责中国的销售和服务。

　　由于半导体工业在的快速发展，Swagelok应用于半导体工业的产品在其整个产品线中也占据重要地位，为此，他们专门成立了Swagelok半导体服务公司。作为SEM的成员，Swagelok也参加了3月份在上海的SEMCCNChina2004展览，在展会期间，记者有幸采访了Swagelok公司技术及塑料制品总经理金汉生先生（JanesHbnson）和Swagelok半导体0服务公司的坂本铁雄先生。

　　提到阀门很多人想到的是水龙头，是的冰龙头就是一种阀门。可阀门和半导体有什幺关系呢，其实，在半导体制td常士敬请关注造业中，一套半导体生产系统上会使用成干的阀门，比如化学机械磨光（CMP）的研磨液输送系统就需要高质量的阀门，因为锐利的研磨液常常使阀门配件及通道迅速磨损；另外，在酸液输送系统中，如果阀门抗强酸渗透性能不过关，那将会导致酸液渗漏等等。如果家里的水龙头漏了，那种感觉一定很糟糕可如果半导体生产设备中的阀门渗漏，那将会给后端的产品造成不可估量的损失，可见，小小的阀门起着四两拔干斤的重任。

　　金汉生先生详细介绍了Swagelok公司的新专利产品超高纯度塑料系列阀（简称*DRP系列阀“），它芫全遵循国际半导体材料与设备协会SeniF57- 0301的标准制造，产品性能芫全符合甚至超过湿式化学工艺的要求，这些产品能在半导体制造过程中保证其清洁度，使停工时间和维修工作减至低程度。DRP系列产品新的架构相当广泛，包括：具侵蚀性的CMP半，卜二：j.藤：盂……：揎晋沿流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。

　　DRP系列阀门的设计可以协助将危险区域缩减到小规模，并有效的提升隔膜效能其半球形的阀门本体及的隔膜形状，更能快速且彻底的清洁所有潮湿的表面。而经过修正的PTFE隔膜形状，在佳化后，可将循环过程中的压力减到低，且有利于持久性、封装的芫整及创造较长的使用寿命。

　　此外，隔膜的厚度也可以大限度地降低酸性物质渗透的可能性。

　　DRP系列阀门有气动阀和手动阀，所有型号皆具备扩口式接头，规格从长度1/4到5/4英寸都有，还有全规格的ALIJatonic-layerdeposition屋原子层沉积的简称，它是近两年来发展起来的一种新型的半导体沉积技术。为了达到它的严格要求，Swagelok的ALD系列阀的致动速度极快，致动时间不超过5毫秒；并且ALD阀门有极高的循环寿命，在产品评估时循环次数超过了25000000；流量设定功能能够保证制程气体输送的一致性。采用316LVIM/VAR不锈钢材料制成，阀体带1/4英寸VCR，以及1/ 4英寸和6毫米的对焊管接头。可供选择的产品包括一款高温型，它高可适用于200摄氏度的温度，还有多门、多路阀以及模块化表面安装型等各种配置。

　　今曰电子